一 清华大学精密仪器与机械学系
清华大学精密仪器与机械学系建立于1984年，其前身为成立于1932年的清华大学工学院机械系。全系建有摩擦学和精密测试技术与仪器2个国家重点实验室，国家CIMS、光盘2个国家工程研究中心以及微米纳米技术研究中心、宇航技术研究中心和绿色制造中心等。
拥有精密仪器及机械、光学工程、机械设计及理论和机械制造及其自动化4个全国重点学科，实行本科?研究生统筹培养。本科学制4年，前两学年为基础平台课程，第三年按机械工程及自动化、测控技术与仪器和微机电系统工程3个专业方向选课。最后根据研究生推荐分流和选课情况核发本科毕业证书和学士学位证书。
二 天津大学精密仪器与光电子工程学院
天津大学精密仪器与光电子工程学院(简称精仪学院)于1995年10月在原精密仪器工程系基础上成立。学院下设4个系：精密仪器工程系、光电信息工程系、光电子科学技术系、生物医学工程与科学仪器系。分别设有5个本科专业：测控技术与仪器、电子科学与技术、信息工程、生物医学工程、光电子技术科学。
学院拥有测试计量技术及仪器、光学工程、精密仪器及机械、物理电子学、生物医学工程硕士学位和博士学位授予权，光学仪器、测试计量技术与仪器是国家首批重点学科，光学工程、仪器科学与技术、生物医学工程为国家一级学科。还设有光学工程、仪器科学与技术、生物医学工程3个博士后流动站。
三 北京航空航天大学检测与自动化工程系
检测与自动化工程系隶属于北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院，成立于2004年6月。该系依托于控制科学与工程一级学科下属的二级学科――检测技术与自动化装置，该学科拥有硕士学位和博士学位授予权，同时设有博士后流动站。
四 上海交通大学信息检测技术与仪器系
信息检测技术与仪器系（原精密仪器系、仪器工程系）成立于1975年，现归属于上海交通大学电子信息与电气工程学院。该系集机、光、电、计算机和控制等学科于一体，主要从事自动检测系统、精密测试技术、微特机器人及其应用、新型传感器、惯性技术及导航设备、智能机电系统等方面的研究。
本科专业：测控技术及仪器。3个硕士点：测试计量技术与仪器，精密仪器与机械，导航、制导与控制。所属的一级学科为仪器科学与技术，具有博士授予权，覆盖全系3个二级学科：测试计量技术与仪器，精密仪器与机械，导航、制导与控制。
五 西安交通大学机械工程学院
见“机械类”“名校聚焦”。